精密零件加工精度以納米，甚至最后以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等

我們把精密機械加工分為以下四個階段：

一、先面后孔

對于箱體、支架和連桿等零件應先加工平面后加工孔。這樣就可以以平面定位加工孔，保證平面和孔的位置精度，而且對平面上的孔的加工帶來方便。

二、先加工基準面

零件在加工過程中，作為定位基準的表面應首先加工出來，以便盡快為后續工序的加工提供精基準。稱為“基準先行”。

三、光整加工

主要表面的光整加工（如研磨、珩磨、精磨\滾壓加工等），應放在工藝路線最后階段進行，加工后的表面光潔度在Ra0.9um以上，輕微的碰撞都會損壞表面，在日本、德國等國家，在光整加工后，都要用絨布進行保護，絕對不準用手或其它物件直接接觸工件，以免光整加工的表面，由于工序間的轉運和安裝而受到損傷。

四、劃分加工階段

加工質量要求高的表面，都劃分加工階段，一般可分為粗加工、半精加工和精加工三個階段。主要是為了保證加工質量；有利于合理使用設備；便于安排熱處理工序；以及便于時發現毛坯缺陷等。